20世紀初，就有人提出了利用超聲原理測量流速的方法。20世紀50年代末，蘇聯(lián)學者比爾蓋爾(HIBirger)發(fā)展了管道流速分布理論，提出了斷面流速修正系數(shù)概念。1955年美國人利用"聲循環(huán)法"(sing-around)原理，研制出 MAXSONFLOWMETER 超聲流量計，用來計量航空煤油，使超聲液體流量計逐步進入實用化。
超聲波流量計的發(fā)展史可以追溯到20世紀50年代，當時科學家們開始研究如何利用超聲波來測量流體的流速。
1970年，第一個商用的超聲波流量計在美國誕生，這標志著超聲波流量計開始進入實用階段。
在1980年代，隨著微處理器技術的發(fā)展，超聲波流量計的精度和穩(wěn)定性得到了大幅提升。
1990年代，超聲波流量計開始廣泛應用于石油、化工、水處理等各個領域。
進入21世紀，隨著數(shù)字化和智能化技術的發(fā)展，超聲波流量計的性能和功能得到了進一步的提升，例如，現(xiàn)在的超聲波流量計不僅可以測量流體的流速，還可以測量流體的溫度、壓力等參數(shù)。
我國從20世紀60年代起，先后展開研制工作。80年代以后，國內(nèi)外產(chǎn)品的品種、數(shù)量不斷增加。尤其最近十多年來，隨著CPU技術、信號處理技術、通訊技術的發(fā)展，歐、美、日、韓各國在基礎理論研究和產(chǎn)品發(fā)展以及應用上日新月異。特別是多聲道(3-5聲道)時差法超聲測流技術的出現(xiàn)，使超聲流量計的測量準確度和可靠性有了明顯的提高。多聲道時差法超聲流量計已經(jīng)實現(xiàn)了對天然氣、成品油、原油的商業(yè)計量。目前各種超聲流量計已廣泛用于工業(yè)生產(chǎn)、商業(yè)計量和水利檢測等方面，如:在市政行業(yè)的原水、自來水、中水、污水的計量中，超聲流量計具有大量程比、無壓損的特點，在保證測量準確度的同時提高了管網(wǎng)的輸水效率;在水利水電行業(yè)的輸水管道、渠道、泵站、電站的流量計量中，超聲流量計具有大口徑、現(xiàn)場安裝、在線標定的特點，使準確測量成為可能。同時通過對水泵、水輪機單泵、單機的計量來實現(xiàn)設備優(yōu)化、經(jīng)濟運行的目的:在工業(yè)冷卻循環(huán)水的計量中,超聲流量計實現(xiàn)了在線不斷流帶壓安裝和在線標定;在商業(yè)計量方面多聲道超聲流量計已達到優(yōu)于0.5%的準確度(示值誤差)。而且，利用多聲道超聲流量計的測量結果與被測介質(zhì)的物理性能無關的特點,在一條管線多種油品輸送的計量中,保證計量準確的同時，通過聲速鑒別出不同油品的密度來實現(xiàn)油品混合界面的準確測量。還可利用超聲流量計雙向計量的特點，在裝卸計量中一臺儀表實現(xiàn)雙向計量，體現(xiàn)出諸多方面的優(yōu)勢。多聲道超聲流量計是最具有開發(fā)潛力和發(fā)展前景的流量計。超聲波流量計的發(fā)展史是一部科技進步的歷史，它的出現(xiàn)極大地推動了工業(yè)生產(chǎn)的發(fā)展。